广州迪川仪器仪表有限公司

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了*些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。 MFC2000是‌ ‌推出的‌气体质量流量控制器‌系列，核心采用自主研发的‌MEMS Thermal-D操作™热量传感技术‌，专为非腐蚀性气体的精密过程控制设计 。

核心特性

·         ‌传感技术‌：基于专有MEMS流量传感芯片，融合时域流量传感与智能电子技术，可消除扩散率相似气体的敏感性，支持编程后气体识别 。

·         ‌控制性能‌：具备‌100:1‌的宽动态范围控制比，确保在低流量下的高精度稳定性 。

·         ‌工作环境‌：标准控制压力范围为‌0.1~1 MPa‌（部分资料提及可达1.8 MPa），补偿温度范围‌0~50℃‌ 。

·         ‌信号接口‌：支持‌0-5 VDC‌或‌4-20 mA‌模拟信号控制，以及‌RS485 Modbus‌数字信号控制 。

规格与应用

·         ‌流量范围‌：典型覆盖‌50 mLn/min 至 200 Ln/min‌（具体量程依子型号而定，需查阅详细选型手册）。

·         ‌机械接口‌：标准连接器为NPT 1/8"至1/2"，同时提供双卡套、VCR、UNF等多种定制接口选项 。

·         ‌适用气体‌：适用于各类‌清洁、干燥的非腐蚀性气体‌（如氮气、空气、氧气、氩气等）。

·         ‌主要场景‌：广泛应用于半导体制造、激光设备、焊接机器、气体混合控制及医疗仪器等过程控制*域 。